Reaktives Ionenätzen
Universität Erlangen-Nürnberg · TED 654317-2026 · Wettbewerb
Frist siehe Bekanntmachung
Verbindlich ist die Bekanntmachung.
Wert unbekannt · Status offen · 1 Los
Kann ich das gewinnen?
Wechsel-Wahrscheinlichkeit
Im Portal sichtbar: wie wahrscheinlich der Auftrag den Anbieter wechselt.
Auftraggeber
36 Vergaben (2022–2026).
Leistung in Kürze
Für die aktuell am Lehrstuhl durchzuführenden Projekte ist die Herstellung freistehender Wellenleiter mittels "Faraday Cage Etching" zentral. Dieser komplexe Prozess erfordert zwei völlig unterschiedliche Ätzregime in derselben Kammer. Entsprechend werden Entkoppelte Plasmadichte und Ionenenergie (für p-i-n Dioden Integration) benötigt. Weitere Forschungsprojekte erfordern eine aktive Helium-Rückseitenkühlung (für nanophotonische Wellenleiter), um "Fließen" oder Verbrennen des Elektronenstrahl-Resists (E-Beam Lack) zu verhindern. …
Automatisch aus der Bekanntmachung erstellt.
Lose
- 1. Reaktives Ionenätzen (CPV 31720000)